上海臺式電鏡

一、上海臺式電鏡介紹

EM科特（EmCrafts）CUBE-Ⅱ Plus臺式掃描電鏡能譜一體機是一款桌面緊湊型掃描電子顯微鏡。區別與傳統掃描電鏡的笨重機身，Cube系列占地面積小，便攜性能好，可遵照客戶服務指南任意移動SEM設備。

二、上海臺式電鏡在硅太陽能電池觀察中的應用

綜述：

太陽能電池又稱為“太陽能芯片"或“光電池"，是一種利用太陽光直接發電的光電半導體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產生電流。在物理學上稱為太陽能光伏。太陽能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對電池電性能影響很大，需要掃描電鏡進行觀測，從而控制電池質量。

試驗方法：

取不同工藝進程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察?？焖儆^察模式，照相時間 10s

結論：

EM科特掃描電鏡，可滿足硅太陽能電池制造工藝控制檢測需要。采用CUBE臺式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡，需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片，無損檢測。

1、晶圓制絨結構掃描電鏡圖像

2、晶圓表面Saw damage etching

3、鋁漿電極掃描電鏡圖像

4、銀漿電極掃描電鏡圖像

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